熱式氣體質(zhi)量(liang)(liang)流(liu)量(liang)(liang)計是利(li)用(yong)加熱時(shi)液(ye)(ye)體溫度(du)上(shang)升至某一(yi)(yi)值所需的能量(liang)(liang)與液(ye)(ye)體質(zhi)量(liang)(liang)之(zhi)間的關系來(lai)測(ce)量(liang)(liang)液(ye)(ye)體或氣體質(zhi)量(liang)(liang)的一(yi)(yi)種流(liu)量(liang)(liang)儀表(biao)。一(yi)(yi)般用(yong)來(lai)測(ce)量(liang)(liang)煤氣等氣體質(zhi)量(liang)(liang)的流(liu)量(liang)(liang)。它(ta)具有壓損(sun)小、流(liu)量(liang)(liang)范圍(wei)度(du)大、高精度(du)、高重復性、高可(ke)靠性、體積小、易維護不易損(sun)壞等特點。

早(zao)期的熱式氣體質量(liang)(liang)流量(liang)(liang)計(ji)直接將加(jia)熱線圈和測溫(wen)元件放入液體中(zhong)(zhong)與液體接觸(chu)，是(shi)一(yi)種接觸(chu)式流量(liang)(liang)計(ji)，由(you)于現(xian)場環(huan)境(jing)中(zhong)(zhong)普遍存在(zai)腐蝕(shi)、磨損(sun)及防爆(bao)問題，使它在(zai)工(gong)業應(ying)用中(zhong)(zhong)受到很大限(xian)制。到 20 世(shi)紀(ji) 50 年(nian)代，人們又(you)提出了不(bu)接觸(chu)液體的邊界(jie)層流量(liang)(liang)計(ji)，克(ke)服了接觸(chu)式流量(liang)(liang)計(ji)的缺點，但測量(liang)(liang)結果(guo)受介質參數(如熱導率、比率、粘度)以及環(huan)境(jing)的震(zhen)動等因素的影響。

到 20 世紀(ji) 70 年(nian)代，基于(yu)測(ce)量(liang)液體溫度(du)分(fen)(fen)布的熱分(fen)(fen)布型 TMF，優點很多(duo)，但只(zhi)適用于(yu)小管徑測(ce)量(liang)。此后，人們又(you)設計(ji)了(le)一種(zhong)插入式熱式氣體質(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)計(ji)，它在(zai)國內得到了(le)迅猛的發展，可以用來測(ce)量(liang)大管徑的氣體流(liu)量(liang)。

多點平均(jun)矩陣式 670S熱式氣(qi)體(ti)質量流量計(ji)使用(yong)不銹鋼傳感(gan)探頭，增加了準確性(xing)、堅固(gu)性(xing)和可(ke)靠性(xing)。它有兩(liang)個(ge)探頭伸入(ru)到被測(ce)氣(qi)體(ti)中，一個(ge)速度傳感(gan)器用(yong)來檢測(ce)質量，一個(ge)自動修正溫(wen)(wen)度變(bian)化的溫(wen)(wen)度傳感(gan)器用(yong)來檢測(ce)氣(qi)體(ti)溫(wen)(wen)度，這兩(liang)個(ge)探頭使用(yong)參考(kao)級甘溫(wen)(wen)元件——鉑熱電阻。

插入(ru)式TMF用標準(zhun)級鉑熱(re)(re)電阻(zu)(RTD)的(de)(de)鉑絲纏(chan)繞在(zai)一套(tao)磁芯棒上插入(ru)到一個堅固的(de)(de)不銹鋼套(tao)筒中，速度(du)(du)傳(chuan)感(gan)器(qi) RTD 的(de)(de)電阻(zu)比(bi)溫(wen)度(du)(du)傳(chuan)感(gan)器(qi) RTD 的(de)(de)電阻(zu)小得多，并(bing)由電子設(she)(she)備供(gong)電產生熱(re)(re)量。插入(ru)式 TMF的(de)(de)工作原理基于(yu)(yu)熱(re)(re)力學(xue)定律，即電子設(she)(she)備提供(gong)給速度(du)(du)傳(chuan)感(gan)器(qi)的(de)(de)電功(gong)率(lv)等于(yu)(yu)流(liu)動的(de)(de)氣體(ti)對流(liu)換(huan)熱(re)(re)所(suo)帶走(zou)的(de)(de)熱(re)(re)量。